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sf6气体的比重是空气的5倍，开关室通常是相对封闭的，空气流动多是靠通风设备来控制的，因此，泄漏出来的sf6气体会往室内底层积聚，且不易散发，造成室内底层空间氧气浓度下降，严重的会出现使人窒息的危险。可见，有必要对开关室内底层空间的氧气浓度进行监测。另一方面，六氟化硫气体百分之90左右用于电力工业设备绝缘和灭弧。这种场合的六氟化硫一旦泄漏，因投运后设备在投切过程中产生的电弧将导致封闭高压电力设备腔体内众多氟化物、硫化物的生成。这些氟化物和硫化物绝大部分是毒性甚至剧毒的，虽然灭弧后会迅速合成还原回原有气体，但仍有相当比重的化学混合有毒气体产生。偶尔性比如工程安装接触这些泄漏后的混合气体，对人体无影响。但长期接触比如电力检修、巡检等工作人员，则要注意进入装有六氟化硫电气设备室内应提前排风或安装六氟化硫泄漏在线监控报警系统，以很好地保障人员健康。为了延长高电压放电电极的使用寿命，sf6气体浓度采用定时采集，而氧浓度数据采集可以进行连续监测，当检测到含氧量浓度低于预定值时，立即启动对sf6气体浓度的采集，若此次采集测得sf6气体浓度超标，即可以认定为sf6气体泄漏。sf6气体作为绝缘介质和灭弧气体在电力设备普遍使用。

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